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蚀刻方法以及蚀刻液的定量分析方法

作者:本站 来源:本站 日期:2017-7-24 13:18:27 人气:5

蚀刻方法以及蚀刻液的定量分析方法

技术领域

本发明涉及金属蚀刻方法,更详细说,涉及在半导体器件基板或 液晶元件基板等的基板制造工序等中,为了对金属(层)形成微细电 极或金属配线而使用感光性树脂等的微细蚀刻工序中适用的蚀刻方 法。此外,本发明涉及上述蚀刻液的定量分析方法以及从上述蚀刻液 中回收磷酸的方法。

背景技术

近年来,在半导体器件基板或液晶元件基板上对随附在这些器 件•元件上的配线或电极等的微小化、高性能化的要求变得更加严格。

对于这样的要求,取代传统使用的CrMo等铬(Cr)合金配线材 料,讨论适于微细蚀刻加工的、能承受设备电气需要增加的低电阻材 料。例如,现在,提出由铝(A1)、银、铜等形成的新材料作为配线材 料使用,也讨论由这样的新材料产生的微细加工。而且,在这些新材 料的蚀刻中通常使用含有硝酸、磷酸以及醋酸的蚀刻液。

在使用铝作为被蚀刻金属时,为了使铝离子化而除去,有必要使 之从0价到3价,与银(1价)或铜(2价)相比,蚀刻液中酸的耗费 量大,由于急剧地产生蚀刻速度的降低,所以存在所谓蚀刻速度控制 难的问题。因此,在浸渍法等的成批处理过程中,一旦蚀刻液的蚀刻 速度低于特定值,则即使蚀刻液残留大部分的蚀刻能力,通常也全量 废弃,替换新的蚀刻液,存在所谓蚀刻液的使用量及废弃量多的问题。

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